コムドライブアクチュエータを用いたAFMシステムに関する研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-127

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Research on AFM system using comb drive actuator

著者名: 鈴木 勝順(香川大学),綾野 賢治郎(香川大学),橋口 原(香川大学)

著者名(英語): Katsuyori Suzuki(Kagawa University),Kenjiro Ayano(Kagawa University),Gen Hashiguchi(Kagawa University)

キーワード: コムドライブアクチュエータ|AFM|自励発振|アドミタンス

要約(日本語): 最近、我々はコムドライブアクチュエータの機械イミタンス特性を解析し、機械共振周波数付近において明確な非線形特性を観測した。また、正帰還回路を用いることでコムドライブアクチュエータが自励発振することを観測した。自励発振周波数はプローブが試料面に触れると変化することも見出した。そこで我々はプローブが試料面に軽く触れた状態に保たれるよう、ステージを制御できるPID制御回路を作製した。プローブがこの位置で保たれている状態でXY平面を走査し、試料表面の凹凸を観察する。本研究は、光てこ法を用いない制御方法のAFMシステムを構築することを目的としており、今回はそのシステム構成について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,465 Kバイト