ナノ領域温度計測用マイクロシステム -コンセプトと作製プロセス-

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-128

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Concept and fabrication process of microsystem for nano area temperature measurement

著者名: 田中 克洋(東北大学),桑野 博喜(東北大学),長澤 純人(東北大学)

著者名(英語): Katsuhiro Tanaka(Tohoku University),Hiroki Kuwano(Tohoku University),Sumito Nagasawa(Tohoku University)

キーワード: 焦電素子|PZT|SThM|走査型熱顕微鏡

要約(日本語): 走査型熱顕微鏡（Scanning thermal microscopy (SThM)）は，熱電対等を集積化させた原子間力顕微鏡プローブを用いる，ナノ領域の温度・熱エネルギ計測技術である．本研究では，従来のSThM の持つプローブ?試料間の熱伝導等の問題を解決する為，微小開口と焦電素子を集積化したプローブによる新しいSThM 計測を提案する．実際に，焦電体にチタン酸ジルコン酸鉛（Pb(ZrxTi(1-x))O3:PZT）を用いた焦電素子プローブをマイクロマシニング技術によって作製し，その焦電特性を評価した．赤外線LEDによる熱刺激を与えたところ，電流0.5pA を確認した．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 632 Kバイト