マイクロイオン源に関する研究-コンセプトと作製法-

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-129

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): A study of a Micro ion source : Concept and Fabrication

著者名: 田面木 真也(東北大学),桑野 博喜(東北大学),長澤 純人(東北大学)

著者名(英語): Shinya Tamonoki(Tohoku University),Hiroki Kuwano(Tohoku University),Sumito Nagasawa(Tohoku University)

キーワード: イオン源|マイクロマシニング|バルクハウゼン?クルツ振動

要約(日本語): イオンビーム加工に用いる、小型、低製造コスト、高電流のマイクロイオン源の作製法の検討を行った。このようなマイクロイオン源が開発されたならば、多数のイオン源を同時並行的に用いてのMEMS一括加工など、生産性の大幅な向上が期待できる。小型化によりイオンを発生させるプラズマ発生部も小型となり、十分なイオン数を発生させることが難しい。よって本研究では、イオン発生原理にB.K.(Barkhausen-kurz)振動を用いることとした。これにより、小型でも十分利用可能な高イオン密度イオン源を目指す。また、マイクロマシニング技術を用いて作製することにより、低製造コストを目指す。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,332 Kバイト