圧電型超音波マイクロセンサのダイアフラム構造制御による感度変化

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-138

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Sensitivity change of piezoelectric ultrasonic microsensors by diaphragm structure control

著者名: 梅川 淳 (大阪大学),山下 馨 (大阪大学),吉崎智也 (大阪大学),清水信樹 (大阪大学),奥山雅則 (大阪大学)

キーワード: 超音波センサ|圧電センサ|ダイアフラム|撓み|曲げ応力

要約(日本語): シリコンマイクロマシニング技術で作製した構造上に圧電体PZT薄膜を形成し、圧電ダイアフラム型超音波センサを作製した。従来センサの感度がダイアフラムの静的撓みに大きく影響を受けることが知られており、曲げによる線形な歪み成分と構造伸縮による非線形な歪み成分を考慮することによりこの影響が理解される。今回、曲げによる効果を減らし構造伸縮による効果を増やすことにより、静的撓みの方向によらずセンサの感度を向上させることを狙い、種々のダイアフラム構造を作製して超音波センサとしての感度を評価した。その結果、ダイアフラム構造を薄くして構造伸縮による効果を高めた構造において高い感度が得られることが分かり、従来構造に対して最大で約2.6倍の感度向上がみられた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,176 Kバイト