PZT薄膜を用いたMEMSジャイロスコープの設計

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-140

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): A Design of MEMS Gyroscope Using PZT Thin Film

著者名: 伊賀 友樹(兵庫県立大学),瀧野文哉 (兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),高山 洋一郎(兵庫県立大学)

著者名(英語): Yuki Iga(University of Hyogo),Fumiya Takino(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Yoichiro Takayama(University of Hyogo)

キーワード: PZT薄膜|ジャイロスコープ|MEMS

要約(日本語): 近年、MEMS技術の発展に伴い、MEMSジャイロスコープが開発、実用化され、カメラの手振れ補正、カーナビなどに用いられている。現在報告されているMEMSジャイロスコープの多くは振動型で、常に一定の振動、すなわち参照振動を必要とする。その駆動法として静電、電磁、圧電などの方法がある。本研究室では片持梁のシリコン構造体と圧電アクチュエータを組み合わせたジャイロスコープをいち早く提案したが[1]、薄膜の圧電体を用いることで小型化が期待できる。本研究では、大きな圧電性を示すチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)の薄膜とシリコンを組み合わせたPt/Ti/PZT/Pt/Ti/SiO2/Si構造を持つ3つ叉の音叉を用いた振動型ジャイロスコープの設計を行ったので報告する。

原稿種別: 日本語

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