厚みすべり振動を用いたバルクPZTジャイロスコープに関する研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-141

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): A study of Bulk-PZT Gyroscope with thickness-shear vibration

著者名: 田中 佳人(兵庫県立大学),小原弘士 (兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),高山 洋一郎(兵庫県立大学)

著者名(英語): Yoshito Tanaka(University of Hyogo),Hiroshi Kohara(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Yoichiro Takayama(University of Hyogo)

キーワード: ジャイロスコープ|圧電|厚みすべり振動

要約(日本語): 本研究室では、これまでに耐衝撃性に優れ、加速度の影響を受けにくい、バルクPZTの縦振動を参照振動に用いた振動型圧電ジャイロスコープを検討してきた。従来の形状では、他軸感度が比較的大きいことや駆動電極からの検出電極への漏れ電圧があらわれる問題などがあった。これらの解決のため、より単純な振動モードとして厚みすべり振動を用いたジャイロスコープの検討を行った。本報告では、このセンサデバイスの設計、試作を行ったので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 887 Kバイト