MEMS ガスレートジャイロにおける往復流を用いたポンプの検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-142

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): A Study on Pump Generating Reciprocation Flow for MEMS Gas Rate Gyroscope

著者名: 高瀬 誠(兵庫県立大学),龍井 良明(兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),高山 洋一郎(兵庫県立大学)

著者名(英語): Makoto Takase(University of Hyogo),Yoshiaki Tatsui(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Yoichiro Takayama(University of Hyogo)

キーワード: ガスレートジャイロ|圧電ポンプ|カンチレバー|MEMS|往復流

要約(日本語): 近年、MEMS技術を用いたガスレートジャイロに関する報告がなされている。それらは検出部であるホットワイヤのみをMEMS技術で作製しており、駆動部であるポンプと分離されたものが多い。そこで本研究では、ポンプとホットワイヤを一体型としたMEMSガスレートジャイロを提案し、そのポンプに関する検討を行ったので報告する。ポンプの駆動方法は大変位が得られる圧電駆動とする。2枚の圧電素子とシリコーンシートでチャンバを密閉したカンチレバー型ポンプを提案した。実サイズのモデルにカンチレバー型ポンプを片側のみ設置し、反対側ではシリコーンシートの変位を確認した。また、算出より500Paの圧力を得られる。本研究室ではFEM解析より、500Paの出力からガス流速7m/sという解析結果を得ている。この時、ガス流の偏向量は1ミクロン/(rad/sec)である。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,274 Kバイト