MEMS振動型加速度センサの他軸感度低減

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-145

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Reduction of off-axis sensitivity for MEMS vibrating beam accelerometer

著者名: 岡田 宏紀(兵庫県立大学),三木 芳彦(兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),高山 洋一郎(兵庫県立大学)

著者名(英語): Hiroki Okada(University of Hyogo),Yoshihiko Miki(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Youichirou Takayama(University of Hyogo)

キーワード: 加速度センサ|共振センサ|振動型加速度センサ|PLL

要約(日本語): 本報告では振動型加速度センサについて述べる。振動型加速度センサは共振周波数変化を出力とした加速度センサであり，高分解能，高安定性などの利点を持つ。我々はこれまでに十字梁構造を有する振動型加速度センサと，その周辺回路についての検討を行ってきた。本報告では，これまで問題となっていた他軸感度及び非線形性に関わる特性の向上を目指し、支持梁形状を変化させた1軸振動型加速度センサの設計・試作及びその評価を行った。実験結果として、85Hz/Gの加速度検出感度が得られた。非線形性及び他軸感度は0.9%/F.S.，3.3%であり1/5以下に低減した。共振周波数の検出には，振動梁をループ内に含むPLLを形成し自励発振させている。アラン分散により検出分解能を算出した結果は193mG/Hz1/2であった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 858 Kバイト