カンチレバー型触覚センサ用シリコン・ポリマーピーム構造の作製と評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-146

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Fabrication and characterization of silicon-polymer beam structure for cantilever-type tactile sensor

著者名: 黄 裕銘 (大阪大学),山下 馨 (大阪大学),寒川雅之 (大阪大学),金島 岳 (大阪大学),野田 実 (大阪大学),奥山雅則 (大阪大学),野間春生 (ATR)

キーワード: 触覚センサ|カンチレバー|垂直応力|剪断応力|ボリマー

要約(日本語): カンチレバー型触覚センサ用ビーム構造として、ポリマーとシリコンからなる二層の梁構造を設計・作製し、白金抵抗歪みゲージ出力により力センシングを試みた。ポリマーの厚みによりカンチレバーの曲率を制御し、所望の形状を持つセンサ構造体の作製に成功した。カンチレバー先端に力を印加しての変形時の歪みゲージ変化を測定し、力センサとしての動作を確認した。さらに構造体をエラストマーで被覆し、エラストマー上からの圧力印加による出力も確認した。被服前の力センサ出力と被覆後の圧力センサ出力は良好な再現性を示し、ロボットの皮膚感覚用触覚センサとして有効であることを確認した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,210 Kバイト