電流検出型熱電対を用いたMAB構造赤外線センサと新赤外線吸収膜の提案

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-147

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): MAB structure IR sensor using the current detection type thermocouple and proposal of a new IR absorption film

著者名: 小山 克人(東北学院大学),木村 光照(東北学院大学)

著者名(英語): Katsuto Oyama(Tohoku Gakuin University),Mitsuteru Kimura(Tohoku Gakuin University)

キーワード: 電流検出型熱電対|MAB構造|赤外線センサ|赤外線吸収膜

要約(日本語): 耳式体温計等の赤外線センサとしてサーモパイルが使用されている。サーモパイルは温度差を精度よく検出できるが、受光部に熱電対を多数形成するため内部抵抗が増加し、S/Nが悪いという問題があった。ここでは、ゼーベック係数αは、熱電対材料の抵抗率ρの対数に比例することが判明し、抵抗率ρを桁違いに小さくした1対の熱電対で内部抵抗rを極端に小さくして、大きな短絡電流を流した方が得することを見出し、これが耳式体温計等の赤外線センサとして利用できること、更に従来の赤外線センサの赤外線吸収膜として用いられてきた金黒等に代わる、膜が剥がれ難く、強アルカリ性エッチャントに対する耐性が大きく、MEMSプロセスに適用できる新しい赤外線吸収膜を提案する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,012 Kバイト