ダイオードヒータによるMAB構造の温度特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-148

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Temperature Characteristics of the MAB Structure by a Diode Heater

著者名: 佐藤万寿治 (東北学院大学),小山 克人(東北学院大学),米倉 洋(東北学院大学),木村 光照(東北学院大学)

著者名(英語): Masuji Sato(Tohoku Gakuin University),Katsuto Oyama(Tohoku Gakuin University),Hiroshi Yonekura(Tohoku Gakuin University),Mitsuteru Kimura(Tohoku Gakuin University)

キーワード: マイクロヒータ|MAB|pn接合|温度センサ

要約(日本語): 基板から熱分離した薄膜（MAB）にヒータを形成して加熱すると、低消費電力で高速応答することを、筆者の一人が提案し各種センサの小型ヒータとなることを実証してきた。ここではpn接合ダイオードをヒータとして用いることを提案し、その基本的特性について報告する。実験の結果、MAB構造からなるダイオードヒータは、5ミリ秒の高速応答性を有し、200 mw入力で、ほぼ200度の温度上昇を実現した。今後各種雰囲測定用マイクロヒータとして適用を図っていく予定である。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 727 Kバイト