MEMS技術を用いた有機単結晶の熱伝導率測定デバイス

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-151

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Development of a MEMS device for measurement of thermal conductivity of organic single crystals

著者名: 宇野 真由美(大阪府立産業技術総合研究所),岡田 悠悟(大阪大学),竹谷純一 (大阪大学)

著者名(英語): Mayumi Uno(Technology Reseach Institute of Osaka Prefecture),Yuhgo Okada(Osaka University),Jun Takeya(Osaka University)

キーワード: 熱伝導率|MEMS|抵抗率温度係数|有機単結晶|分子性結晶

要約(日本語): 微小な有機単結晶の熱伝導率を測定するためのマイクロデバイスを開発した。MEMS技術を用いて、Si基板内に熱容量の小さいメンブレンを作製し、その上に抵抗率温度係数が大きいZr-N薄膜を用いてヒータ、高温側温度計、低温側温度計を作製した。標準試料としてφ40ミクロン、長さ約200ミクロンの銅線を用いて熱伝導率の測定を行った結果、ヒータ発熱量に比例してメンブレン上の温度が上昇し、文献値とほぼ一致した熱伝導率の値が得られた。これにより、数10?数100ミクロン程度の非常に微小な領域での熱伝導率測定が可能であることがわかった。今後は、熱物性が未知の有機単結晶について、熱伝導率、比熱の測定を行う予定であり、講演では最新の結果を報告予定である。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 901 Kバイト