Pt-FET 型水素センサの選択性評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-154

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Selectivity evaluation of Pt-FET type hydrogen sensors

著者名: 中田章太 (岡山大学),山口 富治(岡山大学),紀和 利彦(岡山大学),山田 博信(岡山大学),塚田 啓二(岡山大学)

著者名(英語): Syota Nakada(Okayama University),Tomiharu Yamaguchi(Okayama University),Toshihiko Kiwa(Okayama University),Hironobu Yamada(Okayama University),Keiji Tsukada(Okayama University)

キーワード: FET|水素センサ|選択性

要約(日本語): ゲートに触媒金属として白金を用いたPt-FET 型水素センサは窒素雰囲気下の水素に対して高感度であることが報告されている．しかし，実際には酸素や水蒸気などの他種ガスが存在し，水素センサの応答機構に影響を与えることが知られている．そこで本研究では，水素センサの窒素，空気雰囲気下における湿度影響評価および，メタン，エタン，アンモニア，メタノールガスを用いた選択性評価を行った．その結果, エタン, メタノール, アンモニアはセンサ応答に影響することが示された. また，温度が高いほど影響が大きいことが示された．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 757 Kバイト