FET型水素センサのガス選択性改善

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-156

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Improvement of Gas Selectivity of FET Type Hydrogen Sensors

著者名: 山口 富治(岡山大学),滝澤正教 (岡山大学),紀和 利彦(岡山大学),山田 博信(岡山大学),塚田 啓二(岡山大学)

著者名(英語): Tomiharu Yamaguchi(Okayama University),Masanori Takisawa(Okayama University),Toshihiko Kiwa(Okayama University),Hironobu Yamada(Okayama University),Keiji Tsukada(Okayama University)

キーワード: FET|水素センサ|ガス選択性|固体電解質

要約(日本語): 本研究では，新たなゲート構造を持ったFET型水素ガスセンサを試作し，その選択性を評価したので報告する．従来のFET型水素センサの出力電圧は，酸素濃度を0.1%から10%に変化させると，20-60 mV程度増加した．これに対し，今回開発したFETの場合，酸素濃度の変化による出力変化はほとんど見られなかった．このことは，酸素イオンの透過が固体電解質によって抑制されたために，触媒金属への酸素吸着が起きにくくなったことを示している．また，本センサでは，エタンやアンモニアに対する応答も低減することができた．これらの結果から，本センサが水素ガスに対して高い選択性を持つことが示された．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,150 Kバイト