レーザアブレーション法を用いた高速・高感度H2ガスセンサの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-157

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Development of fast response and high sensitivity hydrogen gas sensor using laser ablation method

著者名: 高坂 大樹(埼玉大学),高 巍(埼玉大学),長谷川 有貴(埼玉大学),勝部 昭明(埼玉大学)

著者名(英語): Daiki Kohsaka(Saitama University),Wei Gao(Saitama University),Yuki Hasegawa(Saitama University),Teruaki Katsube(Saitama University)

キーワード: 水素ガスセンサ|ヘテロ構造|レーザアブレーション|SiC

要約(日本語): 水素は次世代を担うエネルギーとして注目を集めており、高速・高感度なH2ガスセンサを開発することが重要になっている。本研究ではレーザアブレーション法を用いてPt/SnO2/SiC/Niヘテロ構造センサを作製し、H2ガスに対する感度特性および動作温度の影響について検討した。その結果、350?500℃ではどの温度でも10ppmから400ppmまでの感度が得られ、400℃の時に最も高い感度が得られることがわかった。また、Pt電極及び感応膜を薄膜化することにより、H2ガス濃度400ppmに対する90％応答時間は30秒程度と高速化に成功した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 808 Kバイト