誘電泳動によるパラジウムナノ粒子集積と水素ガスセンサへの応用

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-158

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Fabrication of Palladium Nanoparticles-based Hydrogen Gas Sensor Using Dielectrophoresis

著者名: 山根 真司(九州大学),樋高慎一郎 (九州大学),今坂 公宣(九州大学),東畠三洋 (九州大学),末廣純也 (九州大学),岡田 龍雄(九州大学)

著者名(英語): Shinji Yamane(Kyushu University),Shin-ichiro Hidaka(Kyushu University),Kiminobu Imasaka(Kyushu University),Mitsuhiro Higashihata(Kyushu University),Junya Suehiro(Kyushu University),Tatsuo Okada(Kyushu University)

キーワード: 水素ガスセンサ|パラジウム|誘電泳動

要約(日本語): エネルギーとして注目されている水素は、空気中で爆発しやすい性質を持つため、水素ガスセンサの開発が求められている。筆者らは、誘電泳動を利用してカーボンナノチューブなどのナノマテリアルをマイクロ電極上に集積してセンサを作製する手法(誘電泳動集積法)を開発している。本研究では、水中レーザーアブレーションにより作製したパラジウムナノ粒子を誘電泳動集積し、水素に対する応答を調査した。作製したセンサをSEM観察したところ、電極ギャップ間に粒子が集積されている様子が確認できた。センサの水素ガスへの応答は、最初の水素暴露ではセンサのコンダクタンスは増加し、空気でパージすると更に増加した。これに対し、2回目以降の水素暴露ではコンダクタンスは逆に減少した。センサの応答メカニズムは現時点では明らかになっておらず、今後解明していく予定である。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 843 Kバイト