イミタンス変換形高周波インバータの共振ゲート駆動回路

カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-038

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

タイトル(英語): Resonant Gate-Drive Circuit for the Immitance-Conversion Type High Frequency Inverter

著者名: 坂本 英聖(東京都立大学),和田 圭二(東京都立大学),清水 敏久(東京都立大学)

著者名(英語): Yosei Sakamoto(Tokyo Metropolitan University),Keiji Wada(Tokyo Metropolitan University),Toshihisa Shimizu(Tokyo Metropolitan University)

キーワード: ゲート駆動回路|共振|イミタンス変換|高周波

要約(日本語): 燃料電池セパレータや液晶ディスプレイ用カラーフィルタなどの製造工程では数MHz ?数十MHz の高周波プラズマ処理技術が利用されている。このような用途では高効率の高周波電源装置が必要である。筆者らは，二つのイミタンス変換要素を複合し，二つのパワーMOSFET のソース電位を共通化したプッシュプル構成の電流源出力形の高周波インバータ回路を既に提案している。本稿では，パワーMOSFET のMHz 級駆動を高効率に行う共振ゲート駆動回路について考察を行ったので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 834 Kバイト