フラットパネル間隙の圧力分布と真空排気時間のシミュレーション

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-S3-9

グループ名: 【全国大会】平成19年電気学会全国大会論文集

発行日: 2007/03/15

著者名: 齊藤芳男 (高エネルギー加速器研究機構),佐藤吉博 (高エネルギー加速器研究機構),松田七美男 (東京電機大学)

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,733 Kバイト