SF6の無声放電処理における極性効果の検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-025

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Polarity Effect on SF6 Decomposition Rate of Dielectric Barrier Discharges

著者名: 志村 望(東海大学),河野 徹(東海大学),大山龍一郎 (東海大学)

著者名(英語): Shimura Nozomu(Tokai University),Kono Toru(Tokai University),Ohyama Ryu-ichiro(Tokai University)

キーワード: SF6|無声放電|極性効果

要約(日本語): SF6は高い温室効果を有することから排出抑制が求められているが、未だ最良の処理方法が確立されていない。そこで、本研究ではSF6分解技術として多針‐平板電極系の無声放電処理の検討を行っている。本論文では無声放電処理において極性効果が及ぼす放電特性およびSF6分解特性について検討を行った。実験ではインパルス式高周波電源を使用し、電極配置の変化によって特性を比較した。実験結果として誘電体側印加の場合は金属電極側印加と比べて放電電力に伴うSF6分解反応速度向上した。さらに、誘電体側印加における電圧電流波形より、誘電体上の蓄積電荷の影響と考えられる電圧極性反転付近での放電電流パルスの活性が確認された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,292 Kバイト