沿面放電測定用マイクロセンサの開発(II)

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-054

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Micro Sensor for Measuring Surface Discharge Phenomena with High Spatial Resolution(II)

著者名: 山口 祐樹(東京大学),林 純也(東京大学),松岡 成居(東京大学),熊田 亜紀子(東京大学),三田 吉郎(東京大学),日高 邦彦(東京大学)

著者名(英語): Hiroki Yamaguchi(The University of Tokyo),Junya Hayashi(The University of Tokyo),Shigeyasu Matsuoka(The University of Tokyo),Akiko Kumada(The University of Tokyo),Yoshio Mita(The University of Tokyo),Kunihiko Hidaka(The University of Tokyo)

キーワード: 沿面放電|静電容量プローブ|マイクロギャップ|MEMS|SOIウェハ

要約(日本語): 本研究では、沿面放電進展時における誘電体表面の電荷密度分布過渡変化を高分解能で測定できるシステムを開発することを目的とする。これまでに、マイクロギャップにおける沿面放電現象測定用の試作型マイクロセンサを作製した。しかし、マイクロセンサの出力が電源回路による誘導電圧に埋もれてしまうため、計測が困難であった。よって、マイクロセンサをシールドボックスで遮蔽し、誘導電圧の影響を排除した上で、マイクロセンサの出力の整合性を検討した。シールドボックスを用いて簡易装置を組み、マイクロセンサの放電電極にパルス電圧を印加したところ、背面に設置したプローブから印加した電圧に応じた出力を得ることに成功した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 706 Kバイト