化学研磨処理を施したチタン電極の真空中絶縁破壊特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-066

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Vacuum breakdown characteristics of titanium electrodes processed by Chemical Polishing

著者名: 吉田貴志 (埼玉大学),山納 康 (埼玉大学),小林信一 (埼玉大学),道園真一郎 (高エネルギー加速器研究機構),齊藤芳男 (高エネルギー加速器研究機構)

キーワード: 真空放電|化学研磨処理|チタン|コンディショニング効果

要約(日本語): 本研究では、化学研磨を施したチタン電極を用意し、表面分析、および繰り返し絶縁破壊試験を行い、化学研磨が電極表面の粗さと絶縁破壊特性に与える影響について調べた。光学顕微鏡を用いて電極表面の粗さを測定した結果、化学研磨を施した電極は表面粗さの減少が見られた。また、化学研磨を施した試料は不純物が減少し、清浄化されたことがわかった。さらに、絶縁破壊試験結果では、化学研磨によって絶縁破壊の飽和が早められる効果が明らかになったが、絶縁破壊試験後の絶縁耐力には化学研磨の有無による違いは現れなかった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 899 Kバイト