純粋C2H2およびC2H2-Ar混合気体中の電子輸送係数

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-070

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Measurement of Electron Swarm Parameters in Pure C2H2 and C2H2-Ar Mixtures

著者名: 中村 義春(慶応大学)

著者名(英語): Yoshiharu Nakamura(Keio Univesity)

キーワード: アセチレン|電子輸送係数|電子ドリフト速度|縦方向拡散係数

要約(日本語): C2H2 (acetyleneまたはethyne) は最近プラズマプロセスを用いたDLC (diamond-like carbon) 膜の合成に頻繁に用いられる重要な分子であるが、そこで用いられるプラズマの定量的なモデリングに不可欠な気体中の電子輸送係数の測定データが少なく、また、各種電子衝突断面積の測定も十分とは言えない。今回、定量的なモデリングに耐えるC2H2分子の電子衝突断面積セットを電子スオーム法により決定することを最終目的に、純粋C2H2気体中および希薄C2H2-Ar混合気体中における各種電子輸送係数の測定を行ったので、その結果を報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 606 Kバイト