オゾンゼロ現象の実験的研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-082

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Experimental study on ozone-zero phenomenon

著者名: 松村 直明(千葉工業大学),村山 和正(千葉工業大学),鈴木 進(千葉工業大学),伊藤 晴雄(千葉工業大学)

著者名(英語): Naoaki Matsumura(Chiba Institute of Technology),Kazumasa Murayama(Chiba Institute of Technology),Susumu Suzuki(Chiba Institute of Technology),Haruo Itoh(Chiba Institute of Technology)

キーワード: オゾンゼロ現象|オゾナイザ

要約(日本語): 近年オゾンは半導体製造におけるアッシングをはじめ上下水の殺菌などに大量に用いられることから高濃度のオゾンを高効率で生成することが可能なオゾナイザの開発に関心が集まっている。このような場合、原料ガスは高純度の酸素を用いるので、オゾナイザを長時間運転すると時間の経過とともに生成されるオゾン濃度が低下し、極端な場合には0近くまで減少することが報告されている。これを「オゾンゼロ現象」と呼んでいる。本研究はこのオゾンゼロ現象の検証を行い、その機構を解明することが目的である。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 749 Kバイト