自己結合効果を用いた微小振動センサの周波数依存性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-131

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Frequency Dependence of Small Vibration Sensor Using Self-Coupling Effect

著者名: 名和 靖彦(愛知工業大学),津田 紀生(愛知工業大学),山田 諄(愛知工業大学)

著者名(英語): Yasuhiko Nawa(Aichi Institute of Technology),Norio Tsuda(Aichi Institute of Technology),Jun Yamada(Aichi Institute of Technology)

キーワード: 自己結合効果|微小振動|センサ|半導体レーザ|マイクロコンピュータ

要約(日本語): 微小振動を検出する方法として、レーザ干渉計があるが、光軸調整が困難であり、外部からの振動に弱いという欠点がある。そこで我々は、半導体レーザ（LD）の自己結合効果を利用し、外部干渉計を用いることなくLDと集光レンズのみで微小振動を検出できる小型で外部振動に強い装置を提案した。今回は、ターゲットがLD発振波長の半波長未満の微小振動をしている時、マイコンによって自動化された微小振動センサの周波数依存性を調べた。その結果、ターゲットの振動周波数が500Hzから3000Hzの間であれば、ターゲットの振動振幅値は入力電圧に比例し、約10nmまで測定できることが分かった。振動振幅値の偏差は、振動振幅が小さくなるほど大きくなり、およそ1.5%から21.5%程度になることがわかった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 954 Kバイト