高繰り返しパルス電源を用いた大気圧過渡グローマイクロ放電の生成と評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-175

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Generation and characterization of atmospheric transient glow microdischarges with a highly repetitive pulse generator

著者名: 菊地 淳(東京工業大学),五十嵐 晃一(東京工業大学),井深 真治(東京工業大学),石井 彰三(東京工業大学)

著者名(英語): Jun Kikuchi(Tokyo Institute of Technology),Koichi Igarashi(Tokyo Institute of Technology),Shinji Ibuka(Tokyo Institute of Technology),Shozo Ishii(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 過渡グロー放電|パルス電源|発光分光

要約(日本語): 本研究では大気圧過渡グローマイクロ放電を生成し、駆動パルス電圧波形を変化させた時の放電のプラズマパラメータへの影響について検討する。放電の生成は微細Heガス流を導入した微小ギャップ間に高繰り返しパルス電圧を印加することで行い、駆動パルス電圧波形の変化させるパラメータはパルス幅（ナノ秒オーダ）、パルス間隔（数マイクロ秒以下）、パルスの個数である。これらのパラメータを独立に制御するために複数のパルス形成線路を用いて、高繰り返し高速高電圧パルスを発生させる。放電のプラズマパラメータの評価は発光分光測定によって行い、駆動パルス電圧波形を変化させたときに過渡グロー放電に与える影響について検討する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 826 Kバイト