微細ガス流を用いた大気圧高周波グローマイクロ放電

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-176

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Atmospheric RF glow microdischarges with miniature helium gas flow

著者名: 久納一亮 (東京工業大学),南野健一 (東京工業大学),井深 真治(東京工業大学),石井 彰三(東京工業大学)

著者名(英語): Kazusuke Kunou(Tokyo Institute of Technology),Kenichi Nanno(Tokyo Institute of Technology),Shinji Ibuka(Tokyo Institute of Technology),Shozo Ishii(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: マイクロプラズマ|高周波|グロー

要約(日本語): 本研究では、ノズル電極内部から微細ヘリウムガス流を導入することで、高周波電源（13.56MHz）駆動でも高効率で制御性の高い大気圧グローマイクロ放電を生成した。ノズルに対向する電極として針、平板、穴径200μおよび400μmのホロー平板を用いた。針、平板電極を用いた場合、両電極付近に負グローが、中央部に陽光柱が確認され、また窒素第二正帯の発光スペクトル強度比から回転温度、振動温度を求めた結果、非平衡性を示した。さらに対向電極に穴径200μmおよび400μmのホロー平板を用いることで、電極間で生成されたプラズマを電極外部に取り出すことに成功した。両者の発光の空間分布に違いが見られ、穴径によって電流分布が異なることがわかった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 789 Kバイト