励起状態密度に対する電子エネルギー分布関数の非平衡性の影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-178

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Effect of Non-Equilibrium of EEDF on Excited State Populations

著者名: 赤塚 洋(東京工業大学),水落 純(東京工業大学),清水 良浩(東京工業大学),根津 篤(東京工業大学)

著者名(英語): Hiroshi Akatsuka(Tokyo Institute of Technology),Jun Mizuochi(Tokyo Institute of Technology),Yoshihiro Shimizu(Tokyo Institute of Technology),Atsushi Nezu(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: プラズマ|分光計測|電子エネルギー分布関数|励起状態数密度|衝突輻射モデル|非平衡

要約(日本語): 実測EEDFを入力とするCRモデルによる励起状態数密度と、励起状態実測値の比較を通じて、 EEDFの妥当性を評価し、さらにEEDFをMaxwell分布とする妥当性如何を検討すべく研究を行った。マイクロ波により低温水素・ヘリウム・アルゴンの各プラズマを生成し、プローブ計測によりEEDF、電子密度を求め、発光分光計測により励起状態数密度を求めた。得られたEEDFを用いたCRモデル計算と、分光計測結果のオーダーは一致した。一方、CR計算入力としてMaxwell分布を仮定すると、一致がきわめて悪く、測定プラズマのEEDFは、高エネルギー側の密度がMaxwell型よりも乏しいと結論できる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,047 Kバイト