直流大気圧空気マイクロプラズマジェット

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-195

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): DC-Driven Atmospheric Pressure Air Microplasma Jet

著者名: 吉田 秀寿(熊本大学),松尾 恵太(熊本大学),崔 再九(熊本大学),浪平 隆男(熊本大学),勝木 淳(熊本大学),秋山 秀典(熊本大学)

著者名(英語): Hidekazu Yoshida(Kumamoto University),Keita Matsuo(Kumamoto University),Jaegu Choi(Kumamoto University),Takao Namihira(Kumamoto University),Sunao Katsuki(Kumamoto University),Hidenori Akiyama(Kumamoto University)

キーワード: マイクロプラズマ|非平衡プラズマ|大気圧放電|発光スペクトル

要約(日本語): 非平衡大気圧プラズマは、材料処理、表面処理、レーザーの励起といった様々な産業応用に生かされてきた。大気圧プラズマ処理の主な長所は、真空装置が不要であり外気との遮断さえ必要ないため、投資コストが非常に安くなることである。また、多くの大気圧プラズマ装置は規模の拡大が容易である。大気圧マイクロプラズマの主な特徴は、従来の低圧プラズマに較べ、高密度、高反応性を持ち，また非平衡性も有していることである。一方、細くて長い形状は、毛細管の内面処理、微生物への刺激、半導体素子の部分洗浄といった応用の高性能化に向いている。今回は、PEN型の直流大気圧空気プラズマジェットについて、空気と単純なDC電源により非平衡プラズマを生み出すための研究を行い、いくつかの物理特性について調査した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,139 Kバイト