大気圧非平衡DCパルス及びマイクロ波放電プラズマジェットの基礎特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-197

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Basic Characteristics of Atmospheric-Pressure Non-Equilibrium DC Pulse and Microwave Discharge Plasma Jets

著者名: 湯地 敏史(大分工業高等専門学校),川野 泰和(大分工業高等専門学校),須崎 嘉文(香川大学),浦山 卓也(ADTECプラズマテクノロジー),藤井 修逸(ADTECプラズマテクノロジー),赤塚 洋(東京工業大学)

著者名(英語): Toshifumi Yuji(Oita National College of Techunology),Hirokazu Kawano(Oita National College of Techunology),Yoshifumi Suzaki(Kagawa University),Takuya Urayama(ADTEC Plasma Technology Co.,Ltd.),Shuitsu Fujii(ADTEC Plasma Technology Co.,Ltd.),Hiroshi Akatsuka(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 大気圧プラズマジェット|PENフィルム|発光分光計測|XPS|プラズマプロセス|表面処理

要約(日本語): 現在、大気圧プラズマジェットは、プラズマ分野において新しい技術として注目されています。特に、材料における表面改質や表面クリーニングなどの技術において脚光を浴びています。本研究においては、大気圧プラズマジェットにおいては、プラズマ特性などの面が明らかにされていないため、2種類のプラズマジェット装置を用いて、プラズマ特性を明確にしてプラズマプロセスへの応用を発展させる目的である。本論文においては，2種類のプラズマジェット装置の基礎特性について表面処理効果及び発光分光法により比較検討したので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 718 Kバイト