Ar噴流型大気圧プラズマの基礎特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-200

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Fundamental characteristics of gas-jet type atmospheric pressure Ar plasma

著者名: 深渡瀬領祐 (東海大学),坂本 満祐(東海大学),大山龍一郎 (東海大学)

著者名(英語): Ryosuke Fukawatase(Tokai Univercity),Michisuke Sakamoto(Tokai Univercity),Ryu-ichiro Ohyama(Tokai Univercity)

キーワード: 大気圧|プラズマジェット|誘電体バリア放電|励起温度|アルゴン

要約(日本語): 大気圧下でのグロー放電生成技術は、低圧グロー放電と比べて装置の低コスト化が期待出来る。また、対象物の連続処理やプロセス速度の向上など多くの利点が挙げられ、プラズマプロセスシステムを簡易化出来る。本報では、大気圧下でグロー状の放電を生成する噴流型大気圧プラズマ発生装置を用い、Ar噴流型大気圧プラズマの基礎特性について検討を行った。Ar噴流型大気圧プラズマはノズル先から30mm程度伸長していることを確認し、その発光粒子は主にAr励起原子であることがわかった。また、励起温度はガス流量変化に対し大きな変化は見られず最大で0.19eV程度であり、ガス流の下流域に行くにつれ減少傾向を示すことがわかった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 777 Kバイト