流体モデルによるCF4 RFプラズマの構造解析(2)-衝撃電界重畳法によるCF4解離の促進-

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-202

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Analysis of CF4 RF Plasmas Using Fluid Model (2)? Promotion of CF4 Dissociation Using Impulse-Field Electron Acceleration ?

著者名: 江口 礼良(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学),酒井 洋輔(北海道大学),須田 善行(北海道大学)

著者名(英語): Noriyoshi Eguchi(Hokkaido University),Hirotake Sugawara(Hokkaido University),Yousuke Sakai(Hokkaido University),Yoshiyuki Suda(Hokkaido University)

キーワード: CF4|RFプラズマ|流体モデル

要約(日本語): 本報告では、平行平板電極容量結合型プラズマを想定し、CF4 RFプラズマを1次元流体モデルにより解析した。衝撃電界重畳法と呼ばれる、プラズマに衝撃電界を加えバルク中に多数存在する低エネルギーの電子をCF4解離が起こりやすいエネルギー域を狙って瞬時に加速する手法を使用した。ブロッキングコンデンサ容量8pF、CF4ガス圧力0.2Torr、電源電圧を1000Vとし、RF電源に500から2000Vまでのインパルス電圧を約1nsほど印加した。衝撃電界印加後の平均電子エネルギー、解離レートは上昇し、CF4の解離は促進された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,030 Kバイト