表面波プラズマを用いたアルコール原料カーボンナノチューブの生成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-205

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Production of carbon nano-tubes by surface wave alcohol plasma

著者名: 長尾 嘉郎(武蔵工業大学),小野 茂(武蔵工業大学),桂井 誠(放送大学)

著者名(英語): Yoshirou Nagao(Musashi Institute of Technology),Shigeru Ono(Musashi Institute of Technology),Makoto Katsurai(The Open University)

キーワード: カーボンナノチューブ|アルコール|表面波プラズマ|大面積

要約(日本語): 表面波プラズマを用いての大面積垂直配向CNT膜の生成を試みた。減量はアルコールを用いて、比較的低温の基板温度において、CNTの生成が行えた。主な内容は、用いたプラズマの基礎的諸量についての計測結果。生成された膜のSEM，TEMなどによる観察結果について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 671 Kバイト