酸素添加の大気圧高周波He/CF4およびHe/SF6放電特性への影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-206

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Effect of Oxygen Addition on Characteristics of RF He/CF4 and He/SF6 Discharges at Atmospheric Pressure

著者名: 木村 高志(名古屋工業大学),棚橋 裕基(名古屋工業大学)

著者名(英語): Takashi Kimura(Nagoya Institute of Technology),Hiroki Tanahashi(Nagoya Institute of Technology)

キーワード: 大気圧放電|容量性高周波放電|反応性ガス|電気計測|発光分光計測

要約(日本語): 反応性ガスならびに酸素ガスをHeガス中に0.5?1％程度混合させ、間隙長1mmの平行平板電極に13.56MHzの高周波電圧を印加して大気圧容量性放電プラズマを生成した。電気的測定からCF4混入時では容量性となる一方、SF6混入時ではむしろ抵抗性を示したが、酸素添加の電気的特性への影響はみられなかった。次に、アクチノメトリに基づくフッ素原子密度の推定を行った結果、CF4混入時では、酸素ならびに反応性ガスの混入率の和に対する酸素混入率の比が0.2あたりで，SF6混入時の場合もその比が0.5あたりでフッ素原子密度が最大となった。本実験条件下で推定されたフッ素原子密度は1014cm-3のオーダーとなった。

原稿種別: 日本語

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