窒素と水素ガスを混入した任意波形変調誘導熱プラズマの動的挙動

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-209

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Dynamic behavior of Arbitrarily-Waveform Modulated Induction Thermal Plasmas with Nitrogen and / or Hydrogen Gases

著者名: 坪川 祐樹(金沢大学),森下 悠(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学)

著者名(英語): Yuki Tsubokawa(Kanazawa University),Yu Morishita(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University)

キーワード: 誘導熱プラズマ|窒素，水素混入|任意波形変調

要約(日本語): 高気圧誘導熱プラズマは，ガス温度が高く反応性が高い，不純物が少ないなどの利点を有することから，材料処理分野で盛んに利用されている。筆者らはコイル電流を高周波インバータ電源のPWM制御により任意波形に追随するように振幅変調させることの出来る｢任意波形変調誘導熱プラズマ（AMITP）｣を開発し，熱プラズマの温度の時間制御性について検討してきた[3]。このような変調熱プラズマを用いれば，高温による材料へのダメージ低減のために平均電力を低く保ちながら高速のプロセスを実現できることが期待できる。本研究では，このAMITPに窒素処理等に用いられるN2およびH2を付加ガスとして混入し，AMITPの動的挙動を分光学的に検討した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,682 Kバイト