細管KrCl(222nm)エキシマランプの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-215

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Development of KrCl(222nm) Excimer Lamp in Thin Tube

著者名: 小林 剛(オーク製作所),安田 誠(オーク製作所)

著者名(英語): Go Kobayashi(Orc Manufacturing Co.,Ltd),Makoto Yasuda(Orc Manufacturing Co.,Ltd)

キーワード: 細管|エキシマランプ|KrCl

要約(日本語): 222nmを主な発光スペクトルに持つ単管でかつ細管形状の細管エキシマランプを開発した。ランプの大きさは外径13.5mm、肉厚2.7mm、全長360mmで、放電管の軸方向に対向するように帯状の電極が320mmに渡って埋設された構造をしている。クリプトンと塩素の混合ガスを封入し、放射照度との依存性を調査した。また、3方向についての放射照度分布を測定した。印加電圧：約5kV、点灯周波数：100kHzの条件で、高さ方向の照度分布は、h=5mmの時h=0mmの63.2%になり、径方向の照度分布の半値幅は24mmとなった。軸方向の放射照度分布については、ガス圧6.7kPa、20kPaの時、300mmの範囲で、均一度約10%と良好な結果を示した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 813 Kバイト