細管・単管構造の172nmエキシマランプの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-216

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Development of Thin Tubular 172nm Excimer Lamp

著者名: 安田 誠 (オーク製作所),小林 剛 (オーク製作所)

キーワード: エキシマランプ|キセノン|細管

要約(日本語): 現行エキシマランプは、外径30mm程度の二重管構造のランプが主流となっている。新規のランプ構造を採用し、任意の発光長、細管で単管構造の172nmエキシマランプを開発した。放電容器には合成石英管を用い、外径12mm、内径7.7mm、長さ約350mmである。管軸に対称で対向する位置に、帯状の電極を設けた。電極（発光部）の長さは320mmであり、幅は7mmである。電極は沿面放電の防止のため、放電容器の壁中に埋設した。外部電源への接続は、それぞれ反対の端部から取出した。封入ガスは純キセノンである。封入ガス圧力80kPa、印加電圧7kVの時に、68mW/cm2の最大放射照度が得られた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 672 Kバイト