時間分解光熱分光信号の理論計算

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-059

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Theoretical Analysis of Time-Resolved Photothermal Divergence Signal

著者名: 山本 稔(阿南工業高等専門学校),栗坂 昌克(阿南工業高等専門学校),櫛田 雅弘(阿南工業高等専門学校),上原 信知(阿南工業高等専門学校),釜野 勝(阿南工業高等専門学校),福井 萬壽夫(徳島大学)

著者名(英語): Minoru Yamamoto(Anan-NCT),Masakatsu Kurisaka(Anan-NCT),Masahiro Kushida(Anan-NCT),Nobutomo Uehara(Anan-NCT),Masaru Kamano(Anan-NCT),Masuo Fukui(Univ. of Tokushima)

キーワード: 時間分解光熱分光法|熱拡散方程式|応力方程式|ガリウムヒ素

要約(日本語): 半導体の熱物性評価方法のひとつに，光熱拡散分光(PTD:Photothermal Divergence)法がある．この方法は，試料内の光励起に起因する非発光再結合過程で発生する熱により試料表面が膨張し，その変位量を信号としてとらえるものである．我々はこれまでに，励起光源にパルスレーザを用いて時間分解PTD測定を行ってきた．この結果より得られたPTD信号強度と緩和時間から試料の熱伝導率を評価した．本研究は試料表面変位量を理論計算により導出し，測定結果との比較・検討を行うことで，変位量にどのパラメータが関与しているのかを考察することを目的とした．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 668 Kバイト