定電圧パルス電解法による酸化亜鉛薄膜の作製と結晶配向性の検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-087

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Making of zinc oxide thin film with fixed voltage pulse electrolysis method and the reviewing of the crystal orientation

著者名: 木原章朗 (大阪工業大学),飯田俊介 (大阪工業大学),大幡一斗 (大阪工業大学),小藪佑介 (大阪工業大学),多胡祐作 (大阪工業大学),吉田福蔵 (大阪工業大学),吉浦昌彦 (大阪工業大学)

キーワード: 酸化亜鉛|電気化学

要約(日本語): ZnOは低コストで資源的に豊富な透明半導体として注目されている．構造の乱れを生じやすいと考えられがちの液相からの薄膜作製が，最近の研究において薄膜成長を支配する析出物と溶液界面で起こる化合物析出反応に関する理解が進み、これを適切に制御することにより,構造的に均一な高結晶性薄膜が得られることが明らかとなってきた．本研究では，定電圧パルス電解法によりパルス周波数を変化させ作製したZnO薄膜の結晶配向性を比較検討した．電析電圧のパルス周波数が500Hzから50Hzに変化すると(1 0 0)(1 0 1)(1 1 0)面が主に成長をした.本研究から、定電圧パルス電解法では、パルス周波数によりZnOの配向性の制御が可能と考えられる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 787 Kバイト