Si中過飽和Au回復過程で発生するナノサイズAu集合体

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-088

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Nano-Size Au Agglomerates Generated in Annealing Process of Supersaturated Au in Si

著者名: 師岡 正美(福岡工業大学),安 岩(福岡工業大学)

著者名(英語): Masami Morooka(Fukuoka Institute of Technology),Yan An(Fukuoka Institute of Technology)

キーワード: シリコン|金|集合体|不純物回復|不純物拡散

要約(日本語): Si中でAu原子は置換位置と格子間位置を占め、置換Auには、その熱履歴に依存して高温置換Au、低温置換Au、低温置換Au集合体の3状態をとることが知られている。過飽和高温置換Auの熱平衡濃度への回復過程即ち外方拡散過程で、新しいナノサイズのAu集合体が発生することは既に報告した。今回、このAu集合体発生の冷却速度依存性、回復時間依存性、回復温度依存性（900℃と950℃）について調べたので報告する。さらに回復方法依存性（連続回復法と通常回復法）、即ち、上記高温置換Au回復過程で発生するAu集合体と低温置換Au回復過程で発生するAu集合体との違いについても報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 928 Kバイト