高速高電圧パルス列印加による大気圧下DLC膜の生成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-095

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Fabrication of DLC film under atmospheric pressure using fast high-voltage pulse trains

著者名: 原田 昂一(東京工業大学),井深 真治(東京工業大学),石井 彰三(東京工業大学)

著者名(英語): Koichi Harada(Tokyo Institute of Technology),Shinji Ibuka(Tokyo Institute of Technology),Shozo Ishii(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: ダイアモンドライクカーボン|大気圧|パルス列|非線形伝送線路|パルスフォーミングネットワーク

要約(日本語): マイクロプラズマを用いた応用として炭化水素であるメタンからダイアモンドライクカーボン膜を生成することを目的とする。パルスフォーミングネットワークと非線形伝送線路を用いて高電圧パルス列を印加できる電源により、微細メタンガス流を用いて大気圧過渡グロー放電を生成した。瞬時電力10kW以上、1パルスあたりの注入エネルギー1．58mJが得られ、高効率な膜生成が可能となった。微細ノズル電極からHe流量1000sccmとメタン流量5sccmを供給した微小ギャップの平板電極間放電により、ステンレス基板上に薄膜を生成し、ラマン分光を行った結果、ダイアモンドライクカーボンの構造を示すDバンドおよびGバンドを確認した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 872 Kバイト