DLC膜を用いた電子透過膜の作製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-096

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Preparation of Electron Transmission Film with Diamond Like Carbon

著者名: 縄稚 典生(広島県立総合技術研究所 西部工業技術センター),山本 晃(広島県立総合技術研究所 西部工業技術センター),本多 正英(広島県立総合技術研究所 西部工業技術センター),筒本 隆博(広島県立総合技術研究所 西部工業技術センター),上月具挙 (広島国際大学),菅 博(広島国際大学)

著者名(英語): Norio Nawachi(Hiroshima Prefectural Technology Research Institute West Region Industrial Research),Akira Yamamoto(Hiroshima Prefectural Technology Research Institute West Region Industrial Research),Masahide Honda(Hiroshima Prefectural Technology Research Institute West Region Industrial Research),Takahiro Tsutsumoto(Hiroshima Prefectural Technology Research Institute West Region Industrial Research),Tomotaka Kozuki(Hiroshima International University),Hiroshi Suga(Hiroshima International University)

キーワード: DLC

要約(日本語): 炭素系硬質膜として知られるDLC(Diamond Like Carbon)膜を電子透過膜として適用し，電子透過性を評価した。基板にはシリコン(Si)，成膜原料ガスにはテトラメチルシラン(TMS)を用い，高周波(RF)プラズマCVD法によりDLC膜を形成した。その後，基板裏側からSiを部分的に除去することで，DLC窓を作製した。電子透過特性の評価には，走査型電子顕微鏡を用いた。作製したDLC膜と比較対象としてベリリウム(Be)の電子透過特性を評価した結果，DLC膜は電子透過し始める電圧がBe膜に比べ高いものの電圧30kVで電子を100％透過することを確認した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 782 Kバイト