MEMS共振子を用いた電界電子放出電流の変調と検出

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-101

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Modulation and Detection of Field-emission Current by using MEMS Resonator

著者名: 山下 清隆(東京大学),Charlot Benoit(University of Montpellier II),Sun Winston(東京大学),角嶋 邦之(東京工業大学),藤田 博之(東京大学),年吉 洋(東京大学)

著者名(英語): Kiyotaka Yamashita(IIS,The University of Tokyo),Charlot Benoit(University of Montpellier II),Sun Winston(IIS,The University of Tokyo),Kuniyuki Kakushima(Tokyo Institute of Technology),Hiroyuki Fujita(IIS,The University of Tokyo),Hiroshi Toshiyoshi(IIS,The University of Tokyo)

要約(日本語): MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) の高周波応用が，高周波領域におけるMEMSの低損失性と小型化により注目をされ，中でも固体フィルタ素子は損失が大きいため，高い機械的Q値をもつMEMSフィルタの研究が盛んに行われている．しかし，従来の静電結合方式のMEMS型高周波フィルタでは，デバイス寸法の小型化に伴って，信号出力電流が漸減するという問題がある．そこで，本研究では，MEMS共振フィルタの振動の検出に電界電子放出（FE：Field Emission）電流を用いる新規な方法を提案した．この方式では，FE電流にはデバイス寸法の小型化に伴い，出力電流が増えるという，今後のデバイスの高周波数化に有効な利点がある．本発表では，シリコンバルクマイクロマシニングによるFEティップに金属被覆した変調デバイスを作製し，FE電流の機械的変調および検出を試みた結果を報告する．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,137 Kバイト