UHF帯可変アンテナ用圧電型MEMSキャパシタ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-103

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Piezoelectic MEMS Capacitor for UHF Band Tunable Antenna

著者名: 西垣 亨彦(東芝),長野 利彦(東芝),西尾 真貴(東芝),尾林 秀一(東芝),板谷 和彦(東芝),川久保 隆リサーチ(東芝リサーチ,コンサルティング)

著者名(英語): Michihiko Nishigaki(Toshiba corporation),Toshihiko Nagano(Toshiba corporation),Masaki Nishio(Toshiba corporation),Shuichi Obayashi(Toshiba corporation),Kazuhiko Itaya(Toshiba corporation),Takashi Kawakubo(Toshiba research consulting corporation)

キーワード: MEMS|圧電|キャパシタ|可変アンテナ

要約(日本語): 携帯機器への応用が期待できる圧電型MEMSキャパシタの，UHF帯可変アンテナへの応用を検討している。ただし，MEMSキャパシタは比較的大きな最大容量を得ることが難しく，安定した容量制御に課題があった。このため今回，MEMSキャパシタを複数並列接続し，最大容量の増加と制御の安定化を試みた。また，並列接続によるパッド等の寄生容量の増加を抑制するため，パッド配置の最適化を電磁界解析により行った。結果として，MEMS可変キャパシタを3V以下の3値の電圧でそれぞれ駆動することにより，約0.1?0.9pFのほぼ連続した制御性の良い容量変化が得られ，目標とする可変アンテナに適用可能であることが確認された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 667 Kバイト