MEMSミラー制御系の小型化を指向したPSDに関する研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-104

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): A Study on PSD to Reduce the Size of MEMS-Mirror Control-System

著者名: 永谷 吉祥(兵庫県立大学),橋野 義弘(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学)

著者名(英語): Yoshiharu Nagatani(University of Hyogo),Yoshihiro Hashino(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo)

キーワード: PSD|MEMSミラー|位置検出|表面分割型|貫通孔

要約(日本語): 本研究室ではPSD(Position Sensitive Detector)を用いたMEMSミラー走査角の精密制御を行っている。現在、走査角検出用レーザをPSD中央部より照射する積層型制御系にすることで、制御系の小型化を指向している。これまでに、中央部に貫通孔を有する走査角検出用2次元H-PSD(Holed-PSD)を試作している。本稿では、より不純物濃度の制御性の高いイオン注入によって抵抗層を形成したH-PSDを試作し、初期評価として貫通孔形成前のH-PSDにて位置検出を行い、理論検出位置との比較を行ったので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,043 Kバイト