高機能触覚ディスプレイ用大変位MEMSの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-105

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Development of Large Displacement MEMS for High-Performance Tactile Displays

著者名: 大澤 一樹(慶應義塾大学),岡山 哲之(慶應義塾大学),三木 則尚(慶應義塾大学)

著者名(英語): Kazuki Osawa(Keio University),Yoshiyuki Okayama(Keio University),Norihisa Miki(Keio University)

キーワード: 変位増幅機構|触覚ディスプレイ

要約(日本語): 触覚情報は皮膚内部に分布する触覚受容器により取得されるため，触覚ディスプレイは触覚提示素子となる小型アクチュエータをアレイ状に分布する必要がある．そこで大量一括生産に優れるMEMS技術を利用し，変位増幅機構をもつ大変位MEMSの製作を行った．変位増幅機構とは駆動部と接触部において断面積が異なるチャンバ内に，大変形可能なポリマー薄膜により非圧縮性流体を封入した機構であり，駆動部における変位が接触部において，断面積の比に応じて増幅される．よってMEMSアクチュエータ利用における「変位量」と「皮膚接触部の絶縁」という2つの問題点が同時に解決され，触覚ディスプレイへの応用が可能となる．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,353 Kバイト