PZT圧電薄膜によるマイクロ発電装置

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-107

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Micro PZT Piezoelectric Generator

著者名: 柴田和誠 (東北大学),長澤純人 (東北大学),桑野博喜 (東北大学)

キーワード: マイクロ発電|圧電薄膜|マイクロマシニング

要約(日本語): We propose a micro electric power generator using a piezoelectric PZT thin film micro cantilever. A micro size of a piezoelectric PZT cantilever generator was fabricated and characterized in the paper.We measured the electric power generation of the cantilever comparing the device not having the cantilever. It is shown that 1 pW generation was achieved by the micro piezoelectric power generator.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 960 Kバイト