微小電極を用いたマイクロチャネル用高感度導電率センサの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-110

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): High Sensitive Conductivity Sensors for Microchannel using Micro Interdigitated Electrodes

著者名: 岩松新之輔 (山形県工業技術センター),阿部 泰 (山形県工業技術センター),渡部善幸 (山形県工業技術センター),丹野裕司 (山形県工業技術センター),佐藤敏幸 (山形県工業技術センター)

キーワード: MEMS|導電率センサ|櫛形電極

要約(日本語): マイクロ化学チップ用の高感度検出システムとして，小型化，集積化の観点から有望視されている手法が，微細電極を用いた電気化学検出である。電気化学検出の感度は，電極形状に依存し，高感度な測定を行うためには微弱電流の検出が必要となる。そこで本研究では，MEMS技術を用いた微細電極の作製及び高感度導電率測定系の構築を行った。測定系の検討の結果，ロックインアンプを用いることにより微弱電流の検出が可能となった。さらに電極形状を櫛形にすることにより，微小電極の課題とされる高出力化が図られ，低導電率域でも安定した応答が得られた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 864 Kバイト