タルボ干渉用大面積回折格子の作製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-116

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Fabrication of large-area Diffraction Grating for Talbot interferometer

著者名: 嶋田和真 (兵庫県立大学),辻井 浩 (兵庫県立大学),野田大二 (兵庫県立大学),矢代 航 (東京大学),百生 敦 (東京大学),服部 正 (兵庫県立大学)

キーワード: 回折格子|タルボ干渉計

要約(日本語): X線位相情報を利用したイメージングはX線と物質との相互作用による位相シフト量が顕著に現れるために、従来の吸収コントラストよりも約1000倍の感度改善が可能となり、X線照射量の大幅な軽減が期待できる。その中の一つX線タルボ干渉計は回折格子2枚を用いた簡単な構成が特徴であるが、その仕様はX線の可干渉距離より回折格子の周期は数µm以下、吸収体厚さ20μm以上と作製は容易ではない。本研究室では、これまでX線リソグラフィ技術を用いて20mm角の回折格子の作製を行ってきた。しかし人体用の医療技術への応用から、回折格子の有効面積を大きくしたいという需要が高い。そこで本研究では高アスペクト比加工が可能なX線リソグラフィによって大面積回折格子を作製することにした。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,021 Kバイト