X線リソグラフィによるマイクロコイルの製作

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-118

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): The production of the microcoil by the X-rays lithography

著者名: 越智 大介(兵庫県立大学),瀬戸本 勝(兵庫県立大学),松本 吉史(兵庫県立大学),野田 大二(兵庫県立大学),服部 正(兵庫県立大学)

著者名(英語): Daisuke Ochi(University of Hyogo),Masaru Setomoto(University of Hyogo),Yoshifumi Matsumoto(University of Hyogo),Daiji Noda(University of Hyogo),Tadashi Hattori(University of Hyogo)

キーワード: X線リソグラフィ|マイクロコイル|高アスペクト比|エッチング

要約(日本語): 巻線コイルを小型・高アスペクト比化することで，小型化には向かないとされる巻線型電磁モータの小型・高性能化を目指している。本実験では，アクリルパイプを基材とし，高アスペクト比構造体の製作が可能な三次元X線リソグラフィ，平滑電界メッキ，平滑エッチングにより，微細かつ高アスペクト比のコイルライン形成を行った。今回，コイルライン形成最終工程のエッチングにおいて，エッチング装置・方法の改良により，問題点であったレートのばらつきを改善し，パイプ全体にコイルラインを形成することができた。今後は，各工程の精度を向上し，さらに高アスペクト比のコイルラインの形成を目指す。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,774 Kバイト