フォトリソグラフィーと熱化学反応を利用した超微細ダイヤモンド工具の開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-123

グループ名: 【全国大会】平成20年電気学会全国大会論文集

発行日: 2008/03/19

タイトル(英語): Ultra fine diamond tools fabricated by photolithography and thermochemical reaction

著者名: 松下 孟(慶應義塾大学),諸節祐子 (慶應義塾大学),三木 則尚(慶應義塾大学)

著者名(英語): Hajime Matsushita(Keio University),Yuko Morofushi(Keio University),Norihisa Miki(Keio University)

キーワード: フォトリソグラフィー|熱化学反応|単結晶ダイヤモンド|超微細ダイヤモンド工具

要約(日本語): 本研究ではフォトリソグラフィー及びダイヤモンドの熱化学反応を利用した超微細ダイヤモンド工具の製作を目的とする．実験よりNiを直接単結晶ダイヤモンド上にパターニングを行い加熱する方法(direct)，及びシリコン基板上にパターンされたNiと単結晶ダイヤモンドを接触させ加熱する方法(indirect)においてNiパターンと同様のパターンが単結晶ダイヤモンド上に転写されることが確認した．製作精度，製作の容易さに優れるindirectを用い超微細ダイヤモンド工具の製作を行った結果，刃先高さ199μm，刃先根本部の径が353μm，テーパ角49.6度の工具製作に成功した．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,603 Kバイト